無隔板高效空氣過濾器規(guī)格參數(shù)簡介
當(dāng)今潔凈工程中最常見的高效過濾器品種。用于各種潔凈廠房的末端過濾、潔凈工作臺過濾。無隔板高效過濾器已經(jīng)替代了大部分傳統(tǒng)有隔板高效過濾器。
效率規(guī)格:
普通HEPA過濾器的效率≥99.97%(0.3μm粒子,或DOP法、鈉焰法);
ULPA的效率≥99.999%(MPPS法,0.1-0.2μm粒子掃描,0.12μm粒子)。
尺寸規(guī)格:
邊框?qū)挾葹?03,305,610,762,9151219,1524,1829(mm),其中最常用的尺寸為610mm*610mm和1219mm*610mm;
過濾器厚度為60-90mm。
過濾材料:
玻璃纖維濾紙,聚四氟乙烯纖維濾紙(新材料,尚未普及)
外框:
鋁型材,不銹鋼
濾紙間分隔物:
熱熔膠,絲線,玻璃纖維枝條。
測試:
出廠前必須經(jīng)過逐臺性能檢驗(yàn)。當(dāng)前最流行的方法是使用計(jì)數(shù)器進(jìn)行掃描檢驗(yàn)。
測試風(fēng)速為0.45m/s時(shí),過濾器各點(diǎn)的風(fēng)速波動不超過±20%。
用于線寬≤0.5μm的芯片廠時(shí),過濾器無任何揮發(fā)物,檢測時(shí)不使用液態(tài)粉塵。